Oliver Walter, Geschäftsführer

Oliver Walter
Geschäftsführer

telefon +49.7121.894-164
oliver.walter@berghof.com

Branche Halbleiterindustrie

Halbleiterindustrie

Bauteile in der Halbleiter-, Galvano- und Nassprozesstechnik werden immer kleiner und komplexer, die Bearbeitungsverfahren stellen höchste Ansprüche an die Prozessreinheit und -sicherheit.  Bereits geringfügige Verunreinigungen können die Funktion von elektronischen Bauteilen massiv beeinträchtigen. Kürzere Durchlaufzeiten steigern die Wirtschaftlichkeit, gleichzeitig muss das eingesetzte Equipment bei steigenden Prozesstemperauren den in der Folge zunehmend aggressiveren Ätzmedien standhalten. Um die geforderten Qualitätsnormen, hohen Durchsatzraten und kurzen Stillstandzeiten realisieren zu können, sind effiziente Prozesslösungen gefragt.

 

Langlebig, strapazierfähig, resistent

Nassprozess-Equipment aus PTFE von Berghof erfüllt sämtliche Anforderungen an chemisch inerte, reine und hoch effiziente Bearbeitungsprozesse über einen breiten Temperaturbereich hinweg. Das Kontaminationsrisiko ist dank extrem glatter Oberfläche geringer als bei sämtlichen alternativen Werkstoffen. Die strapazierfähigen, nahtlos isostatisch gepressten Behälter sind langlebig und müssen weder mit einer teuren Beschichtung überzogen noch aufwändig nachbearbeitet werden. 

Vorteile

  • Einzigartige Qualität isostatisch gepresster Formteile aus PTFE / modifiziertem PTFE
  • Keine Verschleppung von Metallionen in den Nassprozess bzw. im Material durch nicht extrudiertes PTFE
  • Geringste Permeationsrate von O3 in die isostatisch verdichtete, glatte Oberflächenstruktur
  • Schutz vor aggressiven Medien durch nahezu universelle chemische Resistenz 
  • Einfache Reinigung der Behältersysteme aufgrund ihrer ausgezeichneten Antihaft-Eigenschaften
  • Hohe Lebensdauer der Bauteile durch besonders enge Fertigungstoleranzen 
  • Hohe Prozesssicherheit
  • Ätzbehältersysteme und Bauteileträger in vielfältigen Formen und Größen lieferbar
  • Herausragendes Preis-Leistungs-Verhältnis
  • Berghof ist etablierter Hersteller von Nassprozess-Equipment und Systemlösungen aus PTFE

  

Höchste Reinheit

Berghof setzt auf ein Herstellungsverfahren, das jegliche Metallkontamination ausschließt. Das Sintern von PTFE erfolgt bei Raumtemperatur und in Blockform, beim anschließenden Fräsen sind keinerlei Schmiermittel erforderlich. Im Gegensatz zum Verarbeitungsprozess von z.B. PFA kommt es beim PTFE und modifiziertem PTFE auch im Gelzustand zu keinem vollflächigen Kontakt der Bauteile mit heißen Metallkomponenten. Darüber hinaus ermöglicht das Fräsverfahren im Vergleich zu PFA eine schnellere und wirtschaftlichere Produktentwicklung.